捷銳U53系(xi)列高純減壓器
作(zuo)者:admin 發布時間:2025-12-19 13:39:25 浏覽(lǎn)次數 :772
U53系列減壓器(qi)适用于高純氣體(ti)應用,采用内部無(wu)螺😍紋、非焊接膜片(pian)結構。膜片和閥體(ti)的密封采用
了硬(ying)密封的設
計,降低(di)洩漏率,同時提高(gāo)了安全性和使用(yong)壽命。
結構特點
316L不(bú)鏽鋼母體
膜片式(shi)硬密封,洩漏率低(di)
可采用面闆安裝(zhuāng)和後座安裝
壓力(lì)表标準連接:1/4" FRS(M), 可選(xuǎn)1/4" FRS(F)
内部電解抛光
專(zhuan)爲高純淨應用生(shēng)産制造
高潔淨的(de)組裝和包裝适用(yòng)于高潔淨度的半(ban)導體行業🐉
使用壽(shòu)命長
100%氦氣測試
材(cái)質
母體:316L, Hastelloy®
閥座:PCTFE
膜片(piàn):Elgiloy®, Hastelloy
上蓋:316, Hastelloy
®
功能特性
流(liu)量:Cv=0.054
母體洩漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fa)座洩漏率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗(yàn)證壓力:最大額定(ding)壓力的150%
設計爆破(po)壓力:最大額定壓(yā)力的400%
工作條件
最(zuì)大的入口壓力:300 psi (20 bar)
出(chū)口壓力:0~30 psi (2 bar)
溫度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道(dao)表面
标準:Ra 20 µin
内部容(rong)積
9.3 cc