U22系列單級減(jian)壓器适用于高純(chún)氣體、非腐蝕性氣(qì)體🚶♀️、腐蝕性🤩氣😍體🤞和(hé)有毒氣體。膜片和(hé)閥體的密封
采用(yòng)了硬密封
的設計(jì),降低洩漏率,同時(shí)提高了安全性和(hé)使用壽🐉命。
結構特(tè)點
316L不鏽鋼母體
膜(mó)片式硬密封,洩漏(lou)率低
可采用面闆(pǎn)安裝和後座安裝(zhuāng)
壓力表标準連接(jie):1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内部電解抛(pāo)光
高潔淨的組裝(zhuang)和包裝适用于高(gao)潔淨度的半導體(tǐ)行業
使用壽命長(zhang)
100%氦氣測試
材質
母(mǔ)體:316L
閥座:PCTFE, Vespel®
膜片:316L
上蓋(gài):316
功能特性
流量:Cv=1.1
母(mǔ)體洩漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩(xie)漏率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證壓(yā)力:最大額定壓力(lì)的150%
設計爆破壓力(lì):最大額定壓力的(de)400%
工作條件
最大的(de)入口壓力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口壓(yā)力:0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流道表面(miàn)
标準:Ra 20µin
可選:Ra 10µin
内部容(róng)積:22.6cc