U53系列(liè)減壓器适用于(yu)高純氣體應用(yong)，采用内部無螺(luo)紋🏒、非焊接膜片(pian)結構。膜片和閥(fa)體的密封采用(yong)
了硬密封的設(she)
計，降低洩漏率(lü)，同時提高了安(an)全性和使用壽(shòu)命。
結構特點
316L不(bú)鏽鋼母體
膜片(pian)式硬密封，洩漏(lou)率低
可采用面(mian)闆安裝和後座(zuò)安裝
壓力表标(biao)準連接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nèi)部電解抛光
專(zhuān)爲高純淨應用(yong)生産制造
高潔(jié)淨的組裝和包(bao)裝适用于高潔(jié)淨度的半導體(tǐ)🌈行業
使用壽命(ming)長
100%氦氣測試
材(cai)質
母體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜(mó)片：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特(tè)性
流量：Cv=0.054
母體洩(xiè)漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩漏(lou)率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證壓(yā)力：最大額定壓(ya)力的150%
設計爆破(po)壓力：最大額定(ding)壓力的400%
工作條(tiao)件
最大的入口(kou)壓力：300 psi (20 bar)
出口壓力(lì)：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面(miàn)
标準：Ra 20 µin
内部容積(jī)
9.3 cc
